AÍvelt lemez fúztatott szilíciumos hajóegy nagy pontosságú lapos hordozó, amelyet félvezető alkalmazásokhoz terveztek, amelyek magas hőmérsékletű köteses feldolgozást igényelnek, például diffúziót, oxidációt és CVD lerakódást. Nagy tisztaságú fúztatott szilíciumból készült, ez a hajó kivételes hőstabilitást, minimális hőtágulást és kiváló ellenállást nyújt mind korrózió, mind hősokk ellen.

Hajlított lemezszerkezete stabil lapáttámaszt nyújt, és javítja az egyenletes gázáramlást és a hőátadást a kazáncsőn belül. A sima, tiszta felület minimalizálja a részecskeképződést, míg az anyag magas optikai átlátszósága lehetővé teszi a vizuális ellenőrzést, amikor szükséges. A folyamatos lapátok igazítására és alacsony szennyeződési kockázatára tervezték, a fused szilícium-hajlított lemezes hajó megfelel a fejlett félvezetőgyártás, kutatólaborok és pilot vonalak szigorú követelményeinek.

Miért hívják Ívelt Kvarc Hajónak?

A "Ívelt lemezes kvarchajó" kifejezés mind anyagából, mind a kialakításból ered:

Kvarc:A hajó nagy tisztaságú kvarcból (olvadt szilícium) készült, amely a félvezetőgyártásban értékelt kiváló hőstabilitása, kémiai ellenállása és alacsony szennyeződéstartalma miatt.

Ívelt lemez:A lapos vagy cső alakú hajókkal ellentétben ez a kialakítás egy ívíves vagy íves ívű lemezt tartalmaz. Ez a görbült (ívelt) lemezszerkezet javítja a gázáramlás eloszlását és a hőegyenletességet a lemezek körül magas hőmérsékletű feldolgozás során. A görbület lehetővé teszi a lemezek jobb kitéveit a feldolgozó gázok számára, és egyenletesebb hőeloszlást eredményez.

Hajó:A félvezető feldolgozásban a "hajó" az iparági kifejezés egy hordozó vagy rögzítő számára, amely biztonságosan tartja a lapátokat kemencés vagy diffúziócső feldolgozás során.

Tehát a "ívelt lemezes kvarchajó" szó szerint egy kvarc alapú lapi hordozó járművet jelent, amelynek hajlított (ívelt) lemez kialakítása van optimalizálva, amely egyenletes lapifeldolgozásra optimalizált magas hőmérsékletű félvezető gyártásban.