Magas tisztaságú kvarc áramlási egyenlítő faffelekprecízióan mérnökelt alkatrészek, amelyek a folyamatgázok áramlásának szabályozására és stabilizálására szolgálnak magas hőmérsékletű félvezető gyártási lépésekben, mint például diffúzió, oxidáció és CVD lerakódás. A kazánrendszerbe telepítve ezek a korlátok vezetik és egyenletesen osztják el a gázt a lapyás felületén, segítve az egyenletes gázkoncentrációt és hőmérsékletet fenntartani a kvarchajó egész területén.

Nagy tisztaságú olvadt kvarcból készültek, ezek a falvédők kiváló hőstabilitást, kiváló ellenállóságot biztosítanak a kémiai korrózióval szemben, és rendkívül alacsony szennyeződést biztosítva – biztosítva a tiszta és szabályozott feldolgozási környezetet. A homokfújt felület javítja a gáz szétszóródási teljesítményét, miközben minimalizálja a részecsketermelést. A folyamatos gázexpozíció elősegítésével ezek a korlátok hozzájárulnak a rétegegység egyenletességének javításához, csökkentett hibaarányhoz és magasabb folyamathozamhoz mind a gyártósorokon, mind az R&D környezeten.

Áramlási egyenlítő baffle-ok célja és funkciója a félvezető feldolgozásban

Mik azok a Flow Equalization Baffle-ok?

A áramlási egyenlítő korlátok precízióan megtervezett kvarc komponensek, amelyeket diffúziós, oxidációs és CVD (kémiai gőz lerakódás) kemencékbe helyeznek. A folyamatgázokat egyenletesen irányítják és szétosztják a kemencék kamrában, megakadályozva az egyenlőtlen gázkoncentrációt vagy hőmérséklet-gradienseket, amelyek hibákat vagy következetlen doppolást okozhatnak.

Hogyan működnek a áramláskiegyenlítő zavarok?

A fülbevezetők általában több kis lyukat vagy perforációt tartalmaznak, amelyek a gázáramok szétbontására és újraelosztására szolgálnak. Ez az egyenlítés lamináris, stabil gázáramlást hoz létre a lemez felületén. A magas tisztaságú kvarcból készült fékfoltok ellenállnak a félvezető folyamatokban gyakori magas hőmérsékleteknek és korrodós gázoknak, így tartósságot és szennyeződésmentes működést biztosítanak.

Alkalmazások a félvezetőfeldolgozásban

Az áramlás egyenlítő korlátai olyan folyamatokban kritikusak, mint például:

• Diffúzió
• Oxidáció
• Kémiai gőzleválasztás (CVD)

Őket a kötes feldolgozó kemencékben használják, ahol több lapzatot egyszerre dolgoznak fel, és az egyenletesség elengedhetetlen.