Magas hőmérsékletű kvarc tömölésekkritikus alkatrészek, amelyek a folyamatgazok szabályozására és egyenletes elosztására szolgálnak a félvezető kemencékben magas hőmérsékletű műveletek során, mint például diffúzió, oxidáció és CVD lerakódás. A gázáramlás irányításával ezek a korlátok segítenek fenntartani a stabil hőmérsékletet és az egyenletes gázexpozíciót a kvarchajó összes lemezén, javítva a folyamat következetességét és a lemez minőségét.

Magas tisztaságú olvadt kvarcból készültek, ezek a falvédők kivételes hőstabilitással, korrózióállósággal és alacsony szennyeződéstartalommal rendelkeznek, amelyek elengedhetetlenek a szennyeződésmentes feldolgozáshoz. A homokfúvott felület csökkenti a részecsketermelést és javítja a hőteljesítményt. A szigorú hőciklusra tervezve ezek a kvarc fülbejárók ideálisak mind a gyártási környezetben, mind a kutatási alkalmazásokban, amelyek precíz gázáramlás-szabályozást és hőmérséklet-egyenletességet igényelnek.

Gyakori problémák a kvarc fóliával és hogyan lehet megelőzni őket

1. Hőfeszültség és repedések

Az ismétlődő fűtési és hűtési ciklusok hőterhelést okozhatnak, ami repedésekhez vagy törésekhez vezethet a kvarc keresztmetszén.

Megelőzés:Használjon magas tisztaságú kvarcot alacsony hőtágulással, és biztosítsa a szabályozott feltöltési és hűtési sebességet kemencék működésében.

2. Deformáció vagy deformáció

A helytelen telepítés vagy a túlzott mechanikai terhelés miatt a fülbefolyók elgörbülhetnek, ami befolyásolja a gázáramlást és a lapátok igazítását.

Megelőzés:A betalpongot óvatosan kezelje a telepítés során, és tervezze meg megfelelő vastagságot és tartószerkezeteket.

3. Felületi szennyeződés

A folyamatgázokból vagy részecskeanyagból származó lerakódások felhalmozódnak a falfal felületén, ami befolyásolja a hőszintet és a lemez tisztaságát.

Megelőzés:Végezzen rendszeres tisztítást megfelelő, nem csiszoló módszerekkel és tartsa be a tisztaszoba szabványait.

4. Kemencében elrendellen beilleszkedés

A védőfedélzetek helytelen elhelyezése megzavarhatja a gázáramlás eloszlását, ami forró pontokat vagy egyenetlen lövéskipozíciót eredményezhet.

Megelőzés:Biztosítsd a telepítés során a pontos igazítást a páncélos hajókkal és a kazánvezetőkkel.

5. Kémiai erózió

Az agresszív folyamatgázoknak való kitettség idővel lassan erodálhatja a kvarc felszínét.

Megelőzés:Válassz magas tisztaságú, korrózióálló kvarcot, és rendszeresen figyeld a keresztmetsző állapotát.

Ezeknek a gyakori problémáknak a megértésével és megelőző intézkedések bevezetésével a félvezetőgyártók képesek fenntartani a kvarc falakat optimális teljesítményt, biztosítva a folyamatos lapzatminőséget, a jobb folyamathozamot és a hosszabb alkatrészélettartamot.