Hőpajzs kvarc szélfékekprecízióan megtervezett alkatrészek, amelyek célja a hőeloszlás javítása és a szilícium lemezek közvetlen sugárzása és a helyi túlmelegedés elleni védelme magas hőmérsékletű félvezető folyamatok, például diffúzió, oxidáció és CVD lerakódás során. A kemencében visszaverőzve és diffuzálva ezek a falvédők egyenletesebb hőmérsékleti profilt biztosítanak, csökkentve a hőfeszültséget és javítva a lemez minőségét.

A magas tisztaságú olvadt kvarcból készült fülbenyomások homokfúvott felületi kezeléssel rendelkeznek, amely minimalizálja a részecskeképződést és javítja a hőteljesítményt. Kiváló ellenállósággal a magas hőmérsékletekkel és a kémiai korrózióval szemben, valamint alacsony szennyeződésszinttel a Thermal-Shield Quartz Baffle-ek tartós, szennyeződésmentes működést biztosítanak a megterhelő tiszta helyiségekben, hozzájárulva a folyamathozamok javulásához és az eszközök megbízhatóságának javításához.

Gyakori problémák a hővédős kvarc baffle-okkal és megelőzéssel

1. Hőfeszültség repedése

Az ismétlődő fűtési és hűtési ciklusok mikrorepedéseket vagy repedéseket okozhatnak a kvarc falfalakban.

Megelőzés:Használj magas tisztaságú kvarcot alacsony hőtágulással, és alkalmazz kontrollált feltöltési és hűtési sebességet a kazánban.

2. Deformáció vagy deformáció

A helytelen kezelés vagy telepítés deformáló kereszttartókhoz vezethet, ami megzavarja a gázáramlást és a hő egyenletességét.

Megelőzés:Biztosítsuk a megfelelő támasztást és a távolságot; Kerüld a túlzott mechanikai terhelést a telepítés során.

3. Felületi szennyeződés

A folyamatgázokból vagy részecskékből származó lerakódások felhalmozódnak, ami csökkenti a hőhatékonyságot és szennyeződést okoz.

Megelőzés:Rendszeresen tisztítsd meg a fülbelagokat nem csiszoló módszerekkel, és tartsd be a szigorú tisztatéri protokollokat.

4. Kemencében elrendellen beilleszkedés

A helytelen elhelyezés egyenetlen gázáramlást és helyi túlmelegedést okozhat.

Megelőzés:A falfalakat pontosan igazítsd a páncélos hajókkal és a kazánvezetőkkel a beállítás során.

5. Kémiai erózió

Az agresszív folyamatgázok hosszú távú kitettsége erodálhatja a kvarc felszínét.

Megelőzés:Használjon korrózióálló, nagy tisztaságú kvarcot, és időnként ellenőrizze az alkatrészeket.

Ezeknek a gyakori problémáknak a megértésével és a megelőző intézkedések követésével a gyártók maximalizálhatják a hővédős kvarc védő korlátok teljesítményét és élettartamát, biztosítva a stabil lemezminőséget és a jobb hozamot.