Függőleges kemence kvarc talapzatokprecízióan megtervezett támogató alkatrészek, amelyek lehetővé teszik a kvarchajók biztonságos megtartását magas hőmérsékletű félvezető lapzatgyártási folyamatok során, mint például diffúzió, oxidáció, CVD lerakódás és annealizálás. Ultratiszta olvadt kvarcból készültek, ezek a talapzatok kivételes hőstabilitást és korrózióállóságot biztosítanak, amelyek szükségesek a folyamatok integritásának fenntartásához függőleges kazánkörnyezetben.

A homokfúvott felület elősegíti az egyenletes gáz szétoszlását, biztosítva a stabil és egyenletes gázexpozíciót a szilíciumos lemezekkel szemben a kvarchajóban. Alacsony szennyeződéstartalommal és masszív szerkezettel, amely képes ellenállni az ismételt hőciklusnak, ezek a talapzatok hozzájárulnak a szennyeződésmentes feldolgozáshoz és a fejlett félvezetőgyártásban nyújtott magas hozamhoz.

Függőleges és vízszintes kemence kvarc talapzatok összehasonlítása

1. Szerkezeti tervezés

Függőleges kemence talapzatok:Úgy tervezték, hogy függőlegesen egymásra rakott lapyákat tartsanak fenn, így egyenletes fűtést biztosítva magas kemencékkamrákban.

Vízszintes kemence talapzatok:Vízszintesen töltött lapványokhoz tervezték, különös hangsúlyt fektetve a stabilitásra az oldalirányú lapátszállítás során.

2. Hőeloszlás

Függőleges:Elősegíti egyenletes hőáramlást felülről lefelé, csökkentve a hőmérsékleti gradienseket a lemezek között.

Vízszintes:A laterális hőmérséklet-ingadozások minimalizálására fókuszál, ami kulcsfontosságú az oxidáció és diffúziós folyamatok szempontjából.

3. Tér és kapacitás

Függőleges talapzatok:Nagyobb lapyás sűrűséget támogat, amely alkalmas nagy volumenű félvezető gyártásra.

Vízszintes talapzatok:Általában alacsonyabb óvaly kapacitás, de kisebb adagos feldolgozáshoz könnyebb hozzáférést biztosít.

4. Karbantartás és tartósság

Függőleges:Pontos igazítást igényel; A tisztítás elengedhetetlen a magas lapossághalmok szennyeződésének megelőzéséhez.

Vízszintes:Könnyebb kezelni és cserélni, de nagyobb mértékben lehet részecskehalmozódásnak.

5. Alkalmazási alkalmasság

Függőleges kemencék:Ez gyakori fejlett félvezető gyárakban, ahol az egységesség és az áteresztőképesség kulcsfontosságú.

Vízszintes kemencék:Gyakran használják kutatás-fejlesztésre, pilot futásokra vagy speciális feldolgozási lépésekre.