AKvarc fóliafagyos, homokfúvározott felülettel rendelkezik, amely hatékony hőszigetelést biztosít magas hőmérsékletű félvezető kemencecsövekben. Szerkezete kis csöveket tartalmaz, hogy megkönnyítse a folyamatgázsoknak a precíz befecskendezését, amelyek szükségesek a lemezgyártáshoz, például diffúzió, oxidáció és CVD lerakódás.

A magas tisztaságú kvarc összeolvasztott kvarcból készült, ez a falfal kiváló ellenállást nyújt a hő-, kémiai korrózió- és hősokk-ellen, miközben alacsony szennyeződésszintet tart fenn a szennyeződés kockázatának minimalizálása érdekében. A homokfúvott felület javítja a hőteljesítményt és csökkenti a részecskeképződést, biztosítva a stabil hőmérséklet-szabályozást és a folyamatos gázeloszlást a folyamat során. Ideális félvezető gyárakhoz és R&D laborokhoz, a Quartz Baffle javítja a folyamatok egyenletességét és a lapia minőségét.

Hogyan javítják a kvarc falakák a lapványok egyenletességét és hozamát?

1. Az egyenletes gázáramlás biztosítása

A kvarc vezetője a gázok egyenletesen feldolgozását minden lappán. A helyi gázturbulencia megelőzésével segítenek fenntartani a folyamatos kémiai reakciókat és a réteglerakódást, ami csökkenti a wafer-to-wafer változást.

2. Hőeloszlás szabályozása

A korlátok visszaverik és diffundálják a hőenergiát, minimalizálva a forró pontokat és a közvetlen sugárzást a lapi felületeken. Ez az egyenletes hőmérséklet-eloszlás biztosítja a pontos diffúziót, oxidációt és lerakódási folyamatokat, megvédve a lappákat a hőfeszültségtől.

3. Szennyeződésmegelőzés

A kvarc kereszttartók pontos kialakítása csökkenti a részecsketermelést és a folyamati melléktermékek visszaáramlását. A tisztább feldolgozási környezet hozzájárul a magasabb hozamhoz és alacsonyabb hibaarányhoz.

4. Kompatibilitás az automatizált rendszerekkel

A magas minőségű kvarc fóliátokat szoros tűrésekkel gyártják, biztosítva a megfelelő igazítást és integrációt a páncélhordozó és automatizált kezelőrendszerekkel, megőrizve a folyamat megbízhatóságát és ismételhetőségét.

A gázáramlás és a hő egyenletesség optimalizálásával, miközben minimalizálják a szennyeződési kockázatot, a kvarc tömbülések kulcsszerepet játszanak a lapyák egyenletességének javításában és a félvezető termelési termelés növelésében.