Kvarc fülfülek vízszintes kemencéhezspeciális alkatrészek, amelyek a hőeloszlás optimalizálására és a szilícium lemezek védelmére szolgálnak magas hőmérsékletű félvezető folyamatok során, mint például diffúzió, oxidáció és CVD lerakódás. A magas tisztaságú olvadt kvarcból készültek, ezek a baffle-ok visszaverik és diffundálják a hőenergiát a kazáncsőben, segítve a helyi hotspotok megszüntetését, és biztosítva az egyenletes hőhatást minden lapcán.

A fülbevezető hőgátként működve csökkenti a közvetlen sugárzást a lapyák felületén, így minimalizálva a hőfeszültséget és javítva az általános folyamatkonzisztenciát. A homokfúvott felületi kezelés javítja a hőteljesítményt, miközben minimalizálja a részecskeképződést. Kiváló hő-, kémiai korrózió- és hősokk-állóképességgel, valamint ultra-alacsony szennyeződéstartalommal ezek a kvarc fülbeliek ideálisak vízszintes kemencék beállításához mind gyártási, mind kutatási környezetben.

Mi az a vízszintes kemence a félvezetőiparban?

A vízszintes kemence a félvezetőiparban egy olyan magas hőmérsékletű feldolgozó berendezés, ahol a lemezeket vízszintesen egy hosszú, csőszerű kemencébe helyezik. Széles körben használják termikus folyamatokhoz, mint például diffúzió, oxidáció, lázítás és kémiai gőz lerakódás (CVD).

Főbb jellemzők

• Vízszintes terhelés:A lappácákat kvarchajókra vagy hordozókra helyezik, és vízszintesen helyezik be a kemencecsőbe, lehetővé téve több lemez sorozatos feldolgozását egyszerre.
• Egységes hőmérséklet-szabályozás:A kemence egy kontrollált, stabil hőmérsékleti környezetet biztosít, amely elengedhetetlen a pontos dopant diffúzióhoz, oxidnövekedéshez vagy filmlerakáshoz.
• Kontrollált légkör:A gázáramlásokat (pl. oxigén, nitrogén, dopantgázok) pontosan szabályozzák, hogy minden lemez egységesen a folyamatkémiai rendszert biztosítsák.
• Köteses feldolgozás hatékonysága:Lehetővé teszi a nagy áteresztőképességet azáltal, hogy sok lapit dolgoznak fel egyetlen futásban, amelyeket gyakran használnak félvezető gyárakban a tömeggyártáshoz.

Miért fontosak a vízszintes kemencék

• Ezek lehetővé teszik az egyenletes hőkezeléseket, amelyek kritikus fontosságúak az eszköz teljesítményéhez.
• A vízszintes kialakítás egyszerűsíti a wafer betöltését/kirakodását és karbantartását.
• Kompatibilis a félvezetőgyártáshoz szükséges különféle hőfolyamatokkal.

A vízszintes kemencék alapvető eszközök a megbízható, nagy volumenű hőfolyamatok végrehajtásához a félvezető lapsa gyártásában.