Név:

6 hüvelykes Quartz Boat sorozat

Funkció és alkalmazás:

Ez a sorozat különféle kvarchajókat tartalmaz, például ketreces hajókat, baffle hajókat, alaphajókat és szabványos wafer hajókat, amelyeket a szilícium laponák támogatására terveztek magas hőmérsékletű félvezető folyamatok során, mint a diffúzió, oxidáció, CVD lerakódás és lapa tisztítása. Ezek a különböző alakzatok és szerkezetek optimalizálják a gázáramlást, a hőegyenletességet és a lemez stabilitását a gyártási és kutatási alkalmazások széles körében.

Teljesítménykövetelmények:

Magas tisztaságú fúziós kvarc szerkezet, kiváló hőstabilitással, korrózióállósággal és alacsony szennyeződéstartalommal. Masszív kialakítás, amely ellenáll ismétlődő hőciklusnak. Sima, polírozott vagy homokfúvott felületek a részecskeképződés és szennyeződés minimalizálása érdekében, biztosítva az automatizált lapátkezelő rendszerekkel és a különböző kemencetípusok közötti kompatibilitást.