ASzellőző kvarc belső cső pontos gázáramlás-szabályozásra és hőszigetelésre tervezték félvezető kemencés rendszerekben. Nagy tisztaságú olvadt kvarcból készült, kiváló ellenállósággal rendelkezik a hősokk, kémiai korrózió és részecskeszennyeződés ellen – így ideális igényes magas hőmérsékletű folyamatokhoz.

A kétcsős kemenceszerkezetek belső részeként ez a kvarc cső egyenletesen irányítja a folyamatgázokat a lapcsa felületein, miközben fenntartja a szétválasztást a kemence falától. Optimalizált geometriája javítja a lamináris áramlást, csökkenti a határréteg hatását, és támogatja a következetes lerakódási vagy diffúziós eredményeket 200 mm-es lemezeken.

A lappa termésének optimalizálása szellőztető kvarc belső csövekkel

A szellőző kvarc belső csövek elengedhetetlen részei a félvezető feldolgozásnak, amelyeket úgy terveztek, hogy stabil és egyenletes gázáramlást biztosítsanak magas hőmérsékletű kemencékben. Azáltal, hogy elősegítik a folyamatos gázoknak való folyamatos kitettséget, ezek a csövek segítenek fenntartani a hőszintet minden lemezen, csökkentve a hibákat és javítva az összhozamot.

A belső csövek nagy tisztaságú olvadt kvarcból készülnek, és ellenállnak a kémiai korróziónak, hősokknak és részecskeszennyeződésnek, így védik az érzékeny lemezeket diffúzió, oxidáció és CVD folyamatok során. A megfelelő telepítés, rendszeres karbantartás és precíz tervezés tovább javítja a gáz elosztását, minimalizálja a lapzatok közötti eltéréseket, és biztosítja az ismételhető, magas minőségű eredményeket.

A szellőző kvarc belső csövek hatékony alkalmazása lehetővé teszi a félvezető gyárak számára, hogy magasabb hozamot érjenek el, fenntartsák a folyamatok következetességét, és betartsák a szigorú tisztatéri szabványokat.