ANagy tisztaságú kvarc wafer hajó kifejezetten 200 mm-es lapyák biztonságos és szennyeződésmentes kezelésére tervezték magas hőmérsékletű félvezető gyártási folyamatokban. Ultratiszta olvasztott kvarcból készült, kiváló hőstabilitással, alacsony szennyeződésszinttel és kiváló ellenállással rendelkezik az agresszív folyamatgázokkal szemben.

A pontos lapáternyílásokkal és megerősített szerkezeti integritással ez a hajó biztosítja az egységes lapyótávolságot és igazítást, lehetővé téve az egyenletes gázáramlást és a hőeloszlást oxidáció, diffúzió és LPCVD kemencék környezetében. Sima felületi felülete minimalizálja a részecskeképződést, és támogatja a tisztatéri szintű teljesítményt.

A magas tisztaság fontossága a kvarc lapos hajókban

A nagy tisztaságú kvarc lapos hajók kritikus alkatrészek a félvezetőgyártásban, amelyeket szilícium lemezek szállítására és feldolgozására terveztek magas hőmérsékletű környezetekben, például diffúzióban, oxidációban és CVD lerakódásban. Ultra-magas tisztaságú kvarcból (>99,99% SiO₂) készültek, ezek a hajók minimalizálják a fémes és részecskeszennyeződést, védik a lemezfelületeket és biztosítják a nagy eszközhozamot.

Kiváló hőstabilitásuk és alacsony hőtágulásuk lehetővé teszi, hogy elviseljék az ismétlődő hőciklusokat deformáció vagy repedés nélkül, miközben egyenletes melegedést biztosítanak minden lappán. A sima, alacsony szennyeződésű felületek tovább csökkentik a részecskeképződést, támogatva a szigorú tisztaszoba szabványokat és a fejlett folyamatkövetelményeket.

A megbízható támogatás, a kémiai inertantsus és hosszú távú tartósság biztosításával a magas tisztaságú kvarc wafer hajók segítenek a félvezető gyáraknak következetes eredményeket, magasabb hatékonyságot és csökkentett karbantartási költségeket elérni. Nélkülözhetetlenek a modern félvezető-gyártó és kutatóintézetek számára, amelyek a maximális pontosságot és termelékenységet célozzák meg.