AVízszintes kvarchajó kifejezetten biztonságos és pontos páncélkezelésre készült vízszintes kemencés rendszerekben, széles körben oxidáció, diffúzió és gyanáztatási folyamatokhoz használják 200 mm-es félvezető lapzatok gyártásában. Magas tisztaságú összeolvadt kvarcból készült, kiváló hőstabilitást, korrózióállóságot és méretpontosságot biztosít.

Vízszintes kialakítása biztosítja az ágyazék egyenletes igazítását és távolságát a kazáncső tengelyén, lehetővé téve az optimális gázáramlási dinamikát és a folyamatos hőkezelést minden lapnán. A merev, alacsony szennyeződésű szerkezet minimalizálja a deformációt magas hőmérsékleten, segítve a folyamat integritásának megőrzését és csökkentve a részecskeképződést.

Vízszintes kvarchajók használata diffúzió, oxidáció és CVD alkalmazásokban

A vízszintes kvarchajók alapvető eszközök a félvezetőgyártásban, amelyeket arra terveztek, hogy biztonságosan tartsák és szállítsák a lemezeket magas hőmérsékletű folyamatok, például diffúzió, oxidáció és CVD lerakódás során. A nagy tisztaságú kvarc fúvódt hajók minimális szennyeződést biztosítanak, és a folyamat során megőrzik az érzékeny lapyák integritását.

A vízszintes orientáció lehetővé teszi, hogy a lappegységek síkon fekszenek, elősegítve az egyenletes hőeloszlást és a folyamatos gázok folyamatos kitettségét. Ez a kialakítás segít csökkenteni a hőmérsékleti gradienciákat, biztosítja az egyenletes dopolást vagy oxidációt, és javítja a folyamathozamot. A sima, alacsony szennyeződésű felületek minimalizálják a részecskeképződést, támogatják a tisztaszoba szabványait és védik a finom lapyák felületeit.

Tartós és hőstabil, magas minőségű vízszintes kvarchajók ellenállnak az ismétlődő hőciklusoknak deformáció vagy repedés nélkül. A megfelelő vízszintes kvarchajó kiválasztásával a félvezető gyárak és kutatóintézetek optimalizálhatják a lapyák egyenletességét, maximalizálhatják az áteresztőképességet, és fenntarthatják a szigorú folyamatszabályozást diffúziós, oxidációs és CVD alkalmazásokban.