AKvarc folyamatcső létfontosságú alkatrész a magas hőmérsékletű félvezető és fotovoltaikus gyártóberendezésekben, amelyet úgy terveztek, hogy szennyeződésmentes környezetet biztosítson a lapa feldolgozásához. Nagy tisztaságú olvadt kvarcból készült, kivételes ellenállóságot nyújt a hősokknak, kémiai korróziónak és mechanikai feszültségnek.

A folyamatcső precíz dimenziószabályozásával és sima belső felületével biztosítja az egyenletes gázáramlást és a hőmérséklet-eloszlást, ami kritikus olyan folyamatokhoz, mint az oxidáció, diffúzió, LPCVD és lázolás. Szerkezeti stabilitása ismétlődő hőciklus alatt hosszú üzemidőt és következetes gyártási minőséget garantál. Függőleges és vízszintes kazánrendszerekhez is alkalmas, a 8 hüvelykes kvarc folyamatcső fejlett 200 mm-es laponygyártási vonalakat támogat azáltal, hogy megőrzi a folyamat integritását, a hozamstabilitást és a működési megbízhatóságot.

Miért részesítik a kazántervezők a kvarc eljáráscsöveket más anyagok helyett

1. Kivételes hőstabilitás

A kvarc rendkívül magas hőmérsékleten is megőrzi a szerkezeti integritását, lehetővé téve a lemez folyamatos feldolgozását deformáció vagy repedés nélkül.

2. Kiváló kémiai ellenállás

Ellentétben a fémekkel, amelyek korrodálhatnak vagy reakcióba léphetnek a folyamatgázokkal, a kvarc kémiailag inert, így az oxidáció, diffúzió és CVD folyamatok során minimális szennyeződést biztosítanak.

3. Magas tisztasági és alacsony szennyeződéstartalom

A fúvódt kvarccsövek nagyon alacsony szennyeződés- és buborékszinttel rendelkeznek, ami kritikus a érzékeny félvezető lemezek hibáinak megelőzéséhez.

4. Pontos dimenziópontosság

A kvarc csöveket szigorú tűrésekkel gyártják, ami lehetővé teszi a folyamatos gázáramlást és egyenletes hőeloszlást a kazánban.

5. Hosszú távú tartósság

A kvarc jobban ellenáll a hősokknak, mint a fémek vagy a kerámia, csökkentve a félvezető gyárak leállásidejét és cseréköltségeit.

A hőstabilitás, a kémiai inertantsus, a magas tisztaság és a pontos méretek kombinációja miatt a kvarc folyamatcsövek a kemencetervezők számára a legkedveltebb választás. A kiváló minőségű kvarccsövek kiválasztása javítja a lemez hozamát, az egyenletességet és a megbízható, hosszú távú működést.