AKvarc keresztmetszé lyukakkal. egy precízióan megtervezett komponens, amely a gázáramlás és a hőmérséklet egyenletességének optimalizálására szolgál félvezető és fotovoltaikus kazánrendszerekben. Magas tisztaságú olvadt kvarcból készült, kiváló hősokkellenállást, kémiai tehetetlenséget és szerkezeti stabilitást biztosít magas hőmérsékleten.

Stratégiailag elhelyezve a reakciócsövekben vagy kamrákban a fóliát, amely segít egyenletesen eloszlatni a folyamatgüzéreket, csökkenteni a turbulencia, és minimalizálni a részecskeszennyeződést. Stabil kialakítása ellenáll ismétlődő hőciklusnak, és egyenletes teljesítményt tart fenn diffúzió, oxidáció, LPCVD és annealing folyamatok során.

A kvarc fékezéken lévő lyukak funkciója

A kvarc keresztezetén lévő lyukak több kritikus funkciót is betöltenek a félvezető lapsány feldolgozásában:

• Még a gázelosztás is –Lehetővé teszik, hogy a folyamatgázok (pl. oxigén, nitrogén vagy dopant gázok) egyenletesen folyjanak át a lemezeken, megakadályozva az egyenlőtlen kitettséget.
• Hő egyenletesség –A szabályozott gázáramlás lehetővé tételével a lyukak segítenek stabil hőmérsékletet fenntartani minden lapátfelületen, csökkentve a forró pontokat.
• Szennyeződésellenőrzés –A lyukak segítenek megakadályozni a visszaáramlást vagy a turbulencia, amelyek részecskéket vihetnek a lapyák felületére, javítva a folyamat tisztaságát.
• Fokozott folyamathatékonyság –A megfelelően megtervezett lyukak optimalizálják a gázkeverést és diffúziót, ami következetesebb fólilelerakódást vagy oxidációt eredményez.

Röviden: a lyukak a falfalat egyszerű akadályból egy precíziós áramlásvezérlő eszközzé alakítják, amely egyenletes és megbízható waferfeldolgozást biztosít.